Компоненти на планетарен реактор Aixtron G10 Solid SiC

1. Основни характеристики и предимства

• Напълно плътна структура от Solid SiC без свързващи вещества за превъзходна устойчивост на износване и корозия

• Отлична топлопроводимост и устойчивост на термичен шок при температури над 1500 °C

• Изключително ниско генериране на частици и висока чистота, минимизиране на риска от замърсяване

• Изключителна химическа инертност срещу технологични газове, използвани в SiC епитаксия

• Дълъг експлоатационен живот при многократни цикли на висока температура

• Прецизно обработени до малки толеранси на размерите за надеждно прилягане и стабилност на процеса

 2. Типични приложения

Тези аксесоари от Solid SiC се използват в ключови функционални области на реактора Aixtron G10, включително:

• Покривни плочи и избрани покривни елементи

• Защитни пръстени и износоустойчиви компоненти

• Прецизни щифтове, шайби и малки структурни части

• Други персонализирани вложки с висока чистота, изложени на интензивен газов поток или термично натоварване

Те поддържат стабилно разпределение на температурата, равномерно подаване на газ и ниска плътност на дефектите по време на епитаксиален растеж на SiC в голям обем за мощни MOSFET, диоди и свързани устройства с широка лента.

3. Защо да изберете VeTek Solid SiC за Aixtron G10?

Като специализиран производител на полупроводникови материали, VeTek Semiconductor предоставя:

• Компоненти от твърд SiC с висока чистота, пригодени за системи Aixtron G10, например: Покриващ пръстен，Вътрешен/външен капак，издърпваща надолу/поддържаща плоча，Сателитен диск，суцептор

• Стриктен контрол на чистотата и прецизна CNC обработка

• Допълнителни решения, включително CVD SiC-покрити графитни и TaC-покрити части за пълно покритие на термично поле

• Индивидуални проекти, съобразени със специфични условия на процеса и конфигурации на реактора

Нашите аксесоари Solid SiC помагат на клиентите да увеличат максимално предимствата на производителността на платформата Aixtron G10 - висока производителност на пластини, отлична дебелина и равномерност на допинга и конкурентни разходи за притежание - като същевременно удължават живота на компонентите и намаляват свързаните с частиците загуби на добив.