Продукти
CVD SIC фокусен пръстен
  • CVD SIC фокусен пръстенCVD SIC фокусен пръстен

CVD SIC фокусен пръстен

Vetek Semiconductor е водещ домашен производител и доставчик на CVD SIC Focus Rings, посветен на предоставянето на високоефективни, високорезивни решения за продукта за полупроводниковата индустрия. CVD Focus Rings на Vetek Semiconductor Използвайте технологията за напреднало химическо отлагане на пари (CVD), имат отлична висока температурна устойчивост, устойчивост на корозия и термична проводимост и се използват широко в процесите на полупроводникова литография. Вашите запитвания винаги са добре дошли.

Като основа на съвременните електронни устройства и информационни технологии, полупроводниковите технологии се превърнаха в незаменима част от днешното общество. От смартфони до компютри, комуникационно оборудване, медицинско оборудване и слънчеви клетки, почти всички съвременни технологии разчитат на производството и прилагането на полупроводникови устройства.


Тъй като изискванията за функционална интеграция и ефективност на електронните устройства продължават да се увеличават, технологията на полупроводниковите процеси също непрекъснато се развива и подобрява. Като основна връзка в технологията за полупроводници, процесът на офорт директно определя структурата и характеристиките на устройството.


Процесът на офорт се използва за точно премахване или регулиране на материала на повърхността на полупроводника, за да се образува желаната структура и схема. Тези структури определят производителността и функционалността на полупроводниковите устройства. Процесът на офорт е в състояние да постигне прецизност на ниво нанометър, която е основата за производство на интегрирани схеми с висока плътност с висока плътност (ICS).


CVD SIC Focus Ring е основен компонент при сухо офорт, използван главно за фокусиране на плазмата, за да има по -висока плътност и енергия върху повърхността на вафли. Той има функцията на равномерно разпределяне на газ. Vetek Semiconductor расте SIC слой по слой през процеса на CVD и накрая получава CVD SIC Focus Ring. Приготвеният CVD SIC Focus Ring може перфектно да отговаря на изискванията на процеса на офорт.


CVD SiC Focus Ring working diagram

CVD SIC Focus Ring е отличен в механичните свойства, химичните свойства, топлинната проводимост, устойчивостта на висока температура, устойчивостта на йонно офорт и др.


● Високата плътност намалява обема на офорт

● Висока пропаст и отлична изолация

● Висока топлопроводимост, нисък коефициент на разширяване и устойчивост на топлинен удар

● Висока еластичност и добра механична устойчивост на въздействие

● Висока твърдост, устойчивост на износване и устойчивост на корозия


Vetek Semiconductor има водещите възможности за обработка на пръстени за CVD SIC в Китай. Междувременно, зрелият технически екип и екип за продажби на Vetek Semiconductor ни помагат да предоставим на клиентите най -подходящите продукти на Focus Ring. Изборът на Vetek Semiconductor означава да си партнирате с компания, ангажирана да натиска границите наCVD силициев карбид Иновация.


Със силен акцент върху качеството, производителността и удовлетвореността на клиентите ние доставяме продукти, които не само отговарят, но надвишават строгите изисквания на полупроводниковата индустрия. Нека ви помогнем да постигнете по -голяма ефективност, надеждност и успех във вашите операции с нашите усъвършенствани решения за CVD Silicon Carbide.


SEM данни за CVD SIC филм

SEM DATA OF CVD SIC COATING FILM


Основни физически свойства на CVD SIC покритие

Основни физически свойства на CVD SIC покритие
Собственост
Типична стойност
Кристална структура
FCC β фазов поликристален, главно (111) ориентиран
Плътност на покритието SIC
3.21 g/cm³
Твърда на покритие SIC
2500 твърдост на Vickers (500g товар)
Размер на зърното
2 ~ 10 мм
Химическа чистота
99.99995%
Топлинен капацитет
640 J · kg-1· K-1
Температура на сублимация
2700 ℃
Сила на гъвкавост
415 MPa RT 4-точкова
Модулът на Young
430 GPA 4pt Bend, 1300 ℃
Топлинна проводимост
300W · m-1· K-1
Термично разширение (CTE)
4.5 × 10-6K-1

ПолупроводникCVD SIC Focus Ring Products Shops:

Semiconductor process equipmentSiC Coating Wafer CarrierCVD SiC Focus RingOxidation and Diffusion Furnace Equipment

Горещи маркери: CVD SIC фокусен пръстен
Изпратете запитване
Информация за контакт
  • Адрес

    Wangda Road, улица Зиян, окръг Вуи, град Джинхуа, провинция Жеджианг, Китай

  • Електронна поща

    anny@veteksemi.com

За запитвания относно покритие от силициев карбид, покритие от танталов карбид, специален графит или ценова листа, моля, оставете своя имейл до нас и ние ще се свържем в рамките на 24 часа.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept