Привърженик на EPI

Vetek Semiconductor е професионален лидер Китай EPI предприет, Ald Planetary Tugor и производител на поддръжка на графити с TAC. и Нашата EPI поддръжка е важен компонент наЕпитаксиален растежВ процеса на производство на полупроводници. Основната му функция е да поддържа и загрява вафлата, така че висококачествен епитаксиален слой да се отглежда равномерно върху повърхността на вафлите.

EPI SustEptors на Vetek Semiconductors обикновено са изработени от графит с висока чистота и покрити със слой от силициев карбид (SIC).Този дизайн има следните ключови предимства:

● Високотемпературна стабилност: EPI SOSCEPTOR може да остане стабилен във високотемпературна среда, като гарантира равномерния растеж на епитаксиалния слой.

● Корозионна устойчивост: SIC покритието има отлична устойчивост на корозия и може да устои на ерозията на химическите газове, удължавайки експлоатационния живот на тавата.

● Топлинна проводимост: Високата топлинна проводимост на SIC материал осигурява равномерно разпределение на температурата на вафла по време на отопление, като по този начин подобрява качеството на епитаксиалния слой.

● Коефициент на термично разширение съвпадение: Коефициентът на термично разширение на SIC е подобен на този на графита, като избягва проблема с проливането на покритие поради термично разширяване и свиване.

Основни физически свойства наCVD SIC покритие:

CVD SIC Coating Production Shop:

Преглед на индустриалната верига на епитаксията на полупроводниковите чипове: