Quartz Bell Jar

Полупроводников кварцов буркан е изработен от кварцов материал с висока чистота. Има отлична термична стабилност и силна устойчивост на корозия и се използва в много области. В полупроводниковата промишленост: Кварцовият звънец от полупроводников клас осигурява контролирана среда за отлагане на тънък слой върху пластини по време на химическо отлагане на пари (CVD). Кварцовият звънец от полупроводников клас се използва и в процеси, които изискват вакуумна технология, като например производството на оптични покрития, метални покрития и други видове тънкослойни материали. Полупроводников кварцов буркан също е необходим в много физически и материални научни експерименти, които изискват висока чистота, вакуумно затворена среда.

Сценарии за използване в полупроводниковата индустрия:

Полисилиций е силициев материал, съставен от много малки зърна, който се използва широко в интегрални схеми, слънчеви клетки и други области. Химичното отлагане на пари (CVD) е един от основните методи за получаване на поликристален силиций. Основният принцип е, че газът източник на силиций, като SiH4, се разлага при висока температура и се отлага върху субстрата, за да образува поликристален силиций:

SIHCL3 + H2 ⇒ SI + 3HCL

При високи температури и вакуумни условия газът на източника на силиций се подава в отлагането на химически пари. Поликристален силиций най -накрая се получава. Полупроводниковият кварцов буркан е важна част от поликристалния силиконов CVD реактор.

Поликристален силиконов CVD реактор

Под високотемпературната реакция на CVD, полупроводников клас Quartz Bell Jar може да осигури равномерна термична среда. Устойчивостта на висока температура на кварцовия материал с висока чистота (може да издържа на температури до около 1100°C) му позволява да работи стабилно при CVD реакции и да осигури равномерно разпределение на температурата в реакционната зона. В CVD процеса има много токсични газови компоненти, като PH3 и т.н. Полупроводников клас Quartz Bell Jar може ефективно да изолира химическите газове в реакционната камера от външната среда, за да предотврати изтичането на вреден газ. Устойчивостта на корозия на кварцовия материал с висока чистота също така позволява на други материали да работят стабилно за дълго време по време на CVD процеса и не се поддават на корозия или повреда.

Кварцовият звънец се използва заедно с кварцовата тръба за запазване на топлината и вертикалната кварцова лодка и се използва най-вече в епитаксиалния процес на производство на чипове на полупроводникови интегрални схеми. Епитаксиалната пещ обикновено приема вертикална структура, с кварцов буркан от външната страна на вертикалната кварцова лодка и кварцова тръба за запазване на топлината като опора.

Друго типично приложение на полупроводников клас Quartz Bell Jar в среда с висока температура: За загряване на партида от ортодонтски части до 704 ℃ в рамките на 1 секунда в инертна атмосфера за спояване:

Vetek Semiconductor има зрял технически екип. Без значение каква форма или материал от Quartz Bell Jar от висока чистота се нуждаете, можем да го приспособим за вас.

Магазини за полупроводникови продукти на Vetek: