Твърда SIC дискова форма на душ

Ролята на твърдата SIC дискова форма на душ в процеса на CVD е равномерно да се разпределя реакционният газ над зоната на отлагане, така че газът да може да бъде равномерно дифузиран в целия реактор, за да се получи плосък и равномерен филм.

Твърдата душ глава SIC е поставена в горната част на пещта на CVD или в близост до входа на газ. Реакционният газ навлиза в конструкцията във формата на диск през дупките, разпределени върху душа главата и се разпространява по протежение на повърхността на душа. Чрез многобройния дизайн на канала и равномерно разпределени търговски обекти, реакционният газ може да тече равномерно към цялата зона на реактора, като избягва концентрацията или турбулентността и гарантира консистенцията на дебелината на слоя, отложена върху субстрата.

В същото време структурата на душната глава на полупроводниковата диска има и дифузионен ефект, който може ефективно да намали дебита на газа, така че да може да бъде равномерно дифузен в изхода на дюзата и да намали въздействието на локалните промени в потока на газ върху ефекта на отлагане. Той помага да се избегне прякото въздействие на газа върху субстрата и да се предотврати проблема с неравномерното отлагане.

От гледна точка на материалите, твърдата газова душ на SIC е изработена от устойчив на високо температура, устойчив на корозия и твърд материал с висока якост с много висока стабилност. Той може да работи стабилно дълго време в пещта на ССЗ и има дълъг експлоатационен живот.

Vetek Semiconductor предоставя висококачествени персонализирани услуги. Оформлението на формата и дупката на твърдата дискова глава на диска може да бъде гъвкаво коригирано според изискванията на процеса на клиента, за да се адаптира към различни типове газ, дебит и материали за отлагане. За различни размери на реакторите или размерите на субстрата, дисковите глави за душ с различни диаметри и разпределения на дупки могат да бъдат персонализирани за оптимизиране на ефекта на разпределение на газа.

Vetek Semiconductor има зрели процеси и усъвършенствани технологии за солидни продукти за полупроводник на полупроводници, като помага на голям брой клиенти да постигнат непрекъснат напредък в процесите на CVD. Vetek Semiconductor очаква с нетърпение да стане ваш дългосрочен партньор в Китай.

Физически свойства на твърд sic

ПолупроводникСолидни дисковидни виещи магазини за производство на душ