Tac покрит пръстен

Veteksemi Tac покрит пръстен е високоефективен компонент, пригоден за производствени процеси на полупроводници. Неговото уникално проектирано покритие от карбид Tantalum (TAC) придава на продукта отлична висока температурна устойчивост, устойчивост на корозия и механична стабилност, като значително подобрява експлоатационния живот и надеждността на графитните компоненти в полупроводниковото оборудване.

Превъзходна ефективност на покритията с карбид Tantalum:

● Устойчивост на ултра висока температура: TAC покритията могат лесно да издържат на екстремни температури до 2200 ° C и да останат стабилни при топлинни шокови среди, често срещани при производството на полупроводници.

● Отлична химическа стабилност: Покритието показва силна устойчивост на общи корозивни газове като водород, амоняк, силан и силиций, като ефективно предпазва субстрата от химическа атака.

● Отлични механични свойства: TAC покритието има висока твърдост, висока устойчивост на износване и добра устойчивост на термичен удар и може да работи стабилно за дълго време при тежки условия на работа.

● Отлична адхезия: Покритието е плътно свързано с графитния субстрат, като ефективно предотвратява покритието да се отлепи и осигурява постоянна работа през целия живот на продукта.

● Висока чистота: TAC покритието, приготвено от CVD, има изключително висока чистота, което свежда до минимум въвеждането на примеси и осигурява чиста процесна среда за производство на полупроводници.

Предимства на пръстените с покритие от карбид Tantalum:

● Живот на удълженото оборудване: TAC покритието ефективно блокира химичните реакции и дифузията на примесите, като значително удължава експлоатационния живот на графитните компоненти и намалява разходите за поддръжка.

● Подобрете ефективността на производството: Високата температурна устойчивост на продукта и устойчивост на корозия му позволяват да работи при по -взискателни условия, съкращаване на производствения цикъл и увеличаване на производствения капацитет.

● Подобрено качество на продукта: Покритието с висока чистота TAC помага за намаляване на замърсяването, като се гарантира качеството и консистенцията на полупроводниковите продукти.

Vetek Semiconductor е специализиран в продукти за покритие на TAC катоTac покритие на патронник, TAC покритие за въртене на покритието, TAC Coating Suber, ТАК покрито с вафли вафли на вафлив продължение на много години. Нашите продукти с пръстен с покритие с TAC имат функциите на продължителния живот на оборудването, подобрената ефективност на производството и подобреното качество на продукта. В същото време полупроводникът Vetek отдавна се ангажира да предоставя усъвършенствани технологии и решения за продукти за полупроводниковата индустрия. 

Поради различните химични свойства на карбидните материали на графит и танталум, коефициентът на термично разширение няма да съвпада и е лесно да се нагрява при висока температура чрез полупроводник на Vetek чрез специфичен процес за насърчаване на образуването на тантален карбид, частично депозирано върху повърхността на матрицата и отчасти проникнати в графита. По този начин покритието с карбид Tantalum е плътно вложено в графитната матрица чрез растеж in-situ, което значително увеличава силата на свързване между покритието и матрицата и ефективно предотвратяваме пилингът на панталона на танталум.

Магазини за пръстени с покритие с карбид Tantalum: