Графитен RTP RTA носач с CVD покритие от силициев карбид (SiC).

Характеристики на продукта

· Основно оборудване:Проектиран за системи за бързо термично отгряване (RTA) и бърза термична обработка (RTP).

· Примари Aприложение: Оптимизиран за процеси на отгряване на полупроводникови пластини.

· опeрейтинг Teтемпература:Стабилна работа от 200°C до 700°C.

· Excellent Therнеравномерност: Осигурява равномерно разпределение на топлината за последователна обработка на вафли.

· Ниски частициGгенериране: Плътното CVD SiC покритие минимизира замърсяването и подобрява производствения добив.

· Превъзходна химическа устойчивост:Устойчив на окисление и корозивни технологични газове по време на термична обработка.

· Изключителноg ТермУстойчивост на удар: Поддържа структурната цялост чрез повтарящи се бързи цикли на нагряване и охлаждане.

· Дълъг експлоатационен живот:Износоустойчивото SiC покритие значително удължава живота на компонентите и намалява разходите за поддръжка.

· По поръчкаПроизводство:Предлага се в различни размери и конфигурации, за да пасне на различно RTP/RTA оборудване.

Технически спецификации

Приложения

·Бързо термично отгряване (RTA)

· Бърза термична обработка (RTP)

· Отгряване на силициеви пластини

· Активиране на добавки

· Окисляване

· дифузия

·Производство на комбинирани полупроводници

·Производство на MEMS

·Обработка на мощни полупроводници

ЧЗВ

1. Какво е RTP/RTA превозвач?

RTP/RTA Carrier е компонент за поддръжка на пластини, използван в системи за бърза термична обработка и бързо термично отгряване. Той държи сигурно полупроводниковите пластини, като същевременно осигурява равномерен пренос на топлина през целия термичен цикъл.

2. Защо CVD SiC покритието е предпочитано?

В сравнение с чистия графит, CVD SiC покритието предлага превъзходна устойчивост на окисление, по-ниско генериране на частици, по-добра химическа стабилност и значително по-дълъг експлоатационен живот.

3. Може ли VETEK да предостави персонализирани RTP/RTA превозвачи?

да VETEK предлага персонализирани RTP/RTA носачи въз основа на чертежи на клиента.