SiC Керамичен вакуумен патронник за пластини

Керамичният вакуумен патронник Veteksemicon sic за пластини е основен компонент, разработен специално за производство на полупроводници от трето поколение, оптимизиран за среда на обработка с висока температура и високо налягане, в която се сблъскват пластините. Изработени от керамични материали с висока чистота, прецизната машинна обработка и специализираната повърхностна обработка гарантират стабилна производителност при задържане на вакуум и отлична термична стабилност в взискателния производствен процес на полупроводници. Нашите вакуумни патронници са доказани на място от стотици производители на полупроводници, демонстрирайки отлична производителност в критични процеси като SiC епитаксия, йонна имплантация и фотолитография. Те ефективно се справят с изкривяването на пластините и проблемите с точността на позициониране, причинени от висока твърдост на материала и високи температури на процеса.

Обща информация за продукта

Продуктови бизнес условия

Приложение: Керамичният вакуумен патронник Veteksemicon за пластини е изработен от високопроизводителни керамични материали и е прецизно обработен, за да осигури ултраплоска повърхност и отлична термична стабилност. Той осигурява надеждни решения за адсорбция на вафли и контрол на температурата за процеси като епитаксиален растеж, йонна имплантация и фотолитография, като ефективно подобрява добива на процеса и ефективността на производството.

Услуги, които могат да бъдат предоставени: анализ на сценария на клиентското приложение, подходящи материали, решаване на технически проблеми.

Фирмен профил：Veteksemicon разполага с 2 лаборатории, екип от експерти с 20 години материален опит, с R&D и възможности за производство, тестване и проверка.

Керамичен вакуумен патронник Veteksemicon за предимства на сърцевината на вафлата

 ● Пробив в науката за материалите

Моят съперник използва уникална формула на материала и процес на синтероване, за да подобри значително механичната якост и термичната стабилност на своите продукти, като същевременно поддържа отличните изолационни свойства на керамичните материали. Нашата керамика на основата на алуминиев оксид използва суровини с висока чистота и специална формула на добавките, осигуряващи отлична стабилност на размерите дори при високотемпературни среди. Нашата керамика на базата на силициев карбид чрез оптимизиран процес на синтероване постига по-висока топлопроводимост и подобрено термично съвпадение, което ги прави особено подходящи за високотемпературна обработка на SiC пластини.

 ● Отлично управление на топлината

Нашият уникален многослоен дизайн и прецизна машинна обработка гарантират, че патронникът поддържа отлична топлинна равномерност дори при условия на работа с висока температура. Патронникът от силициев карбид може да се похвали с топлопроводимост, надвишаваща 200 W/m·K, което позволява бързо балансиране на температурата и поддържа вариации на температурата на повърхността на пластината в рамките на ±0,8°C. Тази превъзходна способност за термично управление ефективно избягва дефекти в процеса, причинени от температурни промени, и значително подобрява добива на продукта.

● Технология за свръхпрецизна обработка

Моят съперник може да се похвали с водещи центрове за прецизна обработка в Китай, използвайки уникални процеси на шлайфане и полиране за постигане на субмикронна плоскост на повърхността. Нашите патронници от силициев карбид постигат плоскост на повърхността в рамките на 0,8 μm, със стойност Ra на грапавостта на повърхността не повече от 0,1 μm. Това свръхпрецизно качество на повърхността осигурява идеално прилягане между пластината и патронника, осигурявайки надеждна плоска референция за прецизни процеси като фотолитография.

● Подобрен експлоатационен живот

Чрез оптимизирани състави на материалите и подсилен структурен дизайн, нашите продукти имат експлоатационен живот над 40% в сравнение с традиционните продукти. Специалните технологии за подсилване на ръбовете и повърхностно покритие позволяват на нашите продукти да издържат на чести операции по затягане и почистване. Продуктите на основата на алуминиев оксид гарантират, че работят над 200 000 пъти, докато продуктите на базата на силициев карбид могат да достигнат над 500 000 цикъла, което значително намалява оперативните разходи за нашите клиенти.

● Потвърждение за проверка на екологичната верига

Керамичният вакуумен патронник Veteksemicon за проверка на екологичната верига на пластини обхваща суровините до производството, преминал е сертифициране по международен стандарт и има редица патентовани технологии, за да гарантира неговата надеждност и устойчивост в полупроводниковите и новите енергийни полета.

За подробни технически спецификации, бели документи или договорености за пробни тестове, молясвържете се с нашия екип за техническа поддръжказа да проучите как Veteksemicon може да подобри ефективността на вашия процес.