Поддръжка на покритие от карбид Tantalum

Основната функция на полупроводника VetekТанталум карбид (TAC) покритиеПодкрепата е да се подобриТоплинна устойчивост, устойчивост на износване и устойчивост на корозияна субстрата чрез покриване на слой от карбидно покритие Tantalum, така че да се подобри точността и надеждността на процеса и да се разшири експлоатационният живот на компонентите. Това е високопроизводителен продукт за покритие, използван в областта на полупроводниковата обработка.

Поддръжката на карбидното покритие на Vetek Semiconductor на Vetek има твърдост на MOHS близо 9 ~ 10, втори след диаманта. Той има изключително силна устойчивост на износване и може ефективно да устои на повърхностното износване и въздействие по време на обработката, като по този начин ефективно удължава експлоатационния живот на компонентите на оборудването. В комбинация с високата си точка на топене от около 3880 ° C, често се използва за покриване на ключови компоненти на полупроводниково оборудване, като повърхностни покрития на поддържащи конструкции, оборудване за топлинна обработка, камери или уплътнения в полупроводниково оборудване, за да се подобри устойчивостта на износване и висока температурна устойчивост.

Поради изключително високата точка на топене на карбид от танталум от около 3880 ° C, в процеси на обработка на полупроводници като напримерХимическо отлагане на пари (CVD)ифизическо отлагане на пари (PVD), TAC покритието със силна висока температурна устойчивост и химическа устойчивост на корозия може ефективно да защити компонентите на оборудването и да предотврати корозия или увреждане на субстрата в екстремни среди, осигурявайки ефективна защита на високотемпературни среди при производството на вафли. Тази функция също така определя, че поддръжката на покритието на карбид на полупроводника на Vetek често се използва при офорт и корозивни процеси.

Подкрепата за покритие на карбид Tantalum също има функция за намаляване на замърсяването на частиците. По време на обработката на вафли повърхностното износване обикновено произвежда замърсяване на частици, което засяга качеството на продукта на вафлата. Изключителните характеристики на продукта на Tac Coating от близо 9-10 MOHS твърдост могат ефективно да намалят това износване, като по този начин намаляват генерирането на частици. В комбинация с отличната топлопроводимост на Tac Coating (около 21 W/M · K), тя може да поддържа добра топлопроводимост при условия на висока температура, като по този начин значително подобрява добива и консистенцията на производството на вафли.

Основните продукти на Tac Coating на Vetek Semiconductor включватTAC покритие на нагревател, CVD TAC покритие, ТАК СЪДЪРЖАНИЕ НА КОЛЕТИЯиTAC покритие резервна части т.н., и поддържайте персонализирани продукти за продукти. Vetek Semiconductor се ангажира да предоставя отлични продукти и технически решения за полупроводниковата индустрия. Искрено се надяваме да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.

Tantalum карбид (TAC) покритие върху микроскопично напречно сечение:

Основни физически свойства на CVD TAC покритие：