Графитна въртяща се поддръжка

Предавателят на вафли е задължителен за процеса на епитаксиален растеж. По време на епитаксиалния растеж, субстратът на вафли се поставя в складиращия. Въртящият се сватби на полупроводници на полупроводниците се използват в оборудване за обработка на материали при висока температура и висока вакуумна среда. В епитаксиалния растеж на галий нитрид (MOCVD процес) те играят поддържаща роля в въртенето на субстрата. Въртящият се графитен чувствител на Vetek Semiconductor има следните предимства:

● Висока чистота: Съдържанието на примеси във въртящи се подреждащи графитни подреждащи графити е под 5ppm. Това ниво на графит на чистота може да избегне освобождаването на примеси при високи температури, за да се гарантира чистотата на процеса на отлагане. Следователно, не е необходимо покритие, за да се отговори на работните изисквания.

Графит с висока чистота

● Отлични термични свойства: Графитът с висока чистота има отлична топлопроводимост и топлинната му проводимост е много по-висока от другите материали. Коефициентът на термично разширение е малък и може да поддържа стабилни характеристики, когато изпитва температурни промени.

● Добри механични свойства: Графитът с висока чистота има добра устойчивост на износване и здравина, което може да отговаря на сложните изисквания на процеса на CVD.

● Отлична проводимост: Проводимостта е сто пъти по-висока от тази на общите неметални минерали.

● Химическа стабилност: Може да устои на корозия от киселини, алкали и органични разтворители

Нещо повече, като водещ производител и доставчик на въртящ се сплотиращ графит с висока чистота в Китай, полупроводник Vetek също доставя висококачествениSIC покритие графитен чувствител за MOCVD, SIC покритие с барел, Графитна поддръжка с покритиеиMocvd siC покритие от покритие.Vetek Semiconductor се ангажира да предоставя усъвършенствани технологии и решения за продукти за полупроводниковата индустрия, а също така поддържа персонализирани услуги. Искрено се радваме да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.

ПолупроводникГрафитни въртящи се хранителни магазини: